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HIDEN RGA系列残余气体分析四极质谱仪检测容器中的存在组分，或进行过程中产生气体的分析。针对真空诊断的准确分析。

HIDEN HMT 100－RC 高压残余气体分析仪-四极质谱仪（High Pressure Residual Gas Analyser），*的双重模式RGA系统，检测已存在的、或生产过程中形成的气体。针对真空诊断以及过程监测。

分子束外延残余气体分析四极质谱仪用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的分析。该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成，并能在分子束外延环境中长期使用。